inficon真空计是用于测量真空环境中气体稀薄程度的仪器，其工作原理基于不同的物理现象，以下是几种常见类型的工作原理：
(一)压缩式
压缩式利用波义耳定律，通过压缩一定体积的气体，测量其压力变化来确定原始真空度。当对被测容器中的气体进行压缩时，根据波义耳定律公式 \(P_1V_1 = P_2V_2\)(其中 \(P_1\)、\(V_1\) 是压缩前气体的压力和体积，\(P_2\)、\(V_2\) 是压缩后气体的压力和体积)，在已知压缩前后体积变化的情况下，通过测量压缩后的气体压力 \(P_2\)，就可以计算出压缩前的原始压力 \(P_1\)，从而得到被测容器内的真空度。这种结构简单，但测量范围相对较窄，精度有限，常用于低真空度的测量。
(二)热传导式
热传导式基于气体热传导率与压力的关系。它通常有一个加热元件和一对温度传感器。在恒定功率加热条件下，气体的热传导率会随着压力的变化而改变。当气体压力较高时，气体分子密集，热传导较好，温度传感器检测到的温度差较小；反之，当气体压力较低时，气体分子稀疏，热传导变差，温度差增大。通过测量温度差并与已知压力 -温度差关系曲线对比，就能确定被测环境的真空度。热传导式对环境温度敏感度较高，且测量时会改变被测环境的气体状态，但具有响应速度较快的优点，适用于中低真空度的测量。
(三)电离式inficon真空计
电离式是利用气体电离原理工作的。它主要由电离管和电子电路组成。电离管内有一个阴极和一个阳极，阴极发射电子，电子在栅极电压作用下加速，与管内气体分子碰撞使其电离。电离产生的正离子被阳极收集形成离子流，离子流的大小与管内气体压力有关。根据离子流与压力的关系曲线，通过测量离子流灵敏度高，测量范围宽，但对工作环境要求较高，需要稳定的电源和电磁屏蔽，且不同气体种类对其测量有影响，需要进行校准。
(四)电容薄膜式
电容薄膜式基于电容原理。它有一个弹性薄膜作为电容器的一个极板，另一个极板是固定的。当被测环境压力变化时，薄膜会在压力差的作用下发生形变，导致电容器的电容量发生变化。通过测量电容量的变化并结合事先标定的压力 -电容关系，就能确定被测环境的真空度。这种设计的inficon真空计结构紧凑，灵敏度较高，对环境适应性较好，可用于测量中高真空度，但测量精度会受到薄膜材料性能和温度因素的影响。
