美国telemark电子束枪供电技术

发布日期：2022-09-06      浏览次数：540

企业介绍：Telemark 提供的质量、价值和服务 Telemark 设计、制造、销售和支持蒸发组件已有 30 多年的历史。我们于 1990 年以电子束源和电源进入该行业，并扩大了我们的产品范围，包括用于光学、半导体和相关应用的全系列 PVD 镀膜工艺设备。

 

美国telemark电子束枪应用：用于光学、半导体和相关应用

 

产品：电子束电源 电子束源 特高压电子束源 电子束配件 冷冻机 离子束源 石英晶体监视器 光学监视器 薄层电阻监视器

 

美国telemark电子束枪产品型号： TT-6 TT-10 TT-15 TT-20

 

产品描述： Telemark 四极管电子束源（电子束枪）电源为用户提供坚固、久经考验的电子束源供电技术。四极管技术具有特定的优势，例如现场可维护性、快速电弧抑制和低纹波。可提供高达 20kW 的输出，并且多源操作（多 3 个源）使这些电源在经济上具有吸引力。使用高估的四极管可提供瞬时灭弧恢复。风冷设计易于安装，输出电流调节保持在 1%。恒压输出是用户可调的。当与 Telemark Digital Sweep 结合使用时，这些电子束电源可提供极其稳定的光束位置和可重复的结果。Telemark 四极管供应是机架安装和独立式（6kW 以上），以节省机架空间并支持远程放置或单元。使用单独的控制器可在发生故障时提供快速支持和短的停机时间。提供带有电压和电流显示的手持遥控器。

 

美国telemark电子束枪产品属性 6千瓦 TT-6 来源数 1 功率 750mA @ 8.0kV 高压（可调） -6 至 -8kV 响应时间 <100 微秒 源灯丝  40A@ 8VAC 过程控制电压 +10VDC 控制 19 英寸机架安装 内阁 19 英寸机架安装

 

特点： ·功率6/10/15/20kW ·同时操作多达 3 个电子束源 ·坚固的高估四极管，可实现的瞬时灭弧恢复 ·可调电压 -4 至 -10kV，具有调节 (<+/- 0.25%) 以实现稳定的光束位置，极低的纹波以实现小光束尺寸 ·恒定发射电流调节 <+/- 0.5% ·从 PLC 或可选的手持式高压和电源的*远程操作 ·19 英寸控制器 1.75" (1U) ·数字扫描可选 3.50" (2U) ·可编程扫描可选 3.50" (2U) ·风冷