Matesy传感器

Matesy传感器

技术文章：

Matesy传感图层属性

溅射气体的分压或磁场可影响气体成分的变化，气体成分的变化不影响层的厚度，而且影响层的成分。因此，对于层厚度的校正，对磁场的控制和调节提出了质疑！

Matesy传感m-cat系统通过表征管状磁控管，有助于控制溅射系统中的磁性成分。除了对磁场配置进行的测量和分析之外，m-cat系统还为可调磁控管提供了帮助，无论制造商是谁。另外，确定磁控管的几何形状（偏转）以*运行。

Matesy传感通过使用m-cat，您可以增加

性高，因为可以对新的磁控管进行接收检查，并且可以早，地检测出有缺陷的磁控管。

由于可以以可控的方式设置可调磁控管或可以容易地组合合适的磁控管，因此可以实现层厚度的均匀性。

可以避免靶材的寿命，因为可以避免溅射成本高昂的靶材。

Matesy传感特性

采集完整的磁场轮廓

1分钟内完成测量

磁控管偏转的几何识别

长度从.4-4. m

提供用于圆形阴和平面阴磁控管的系统

对测量任务的适应性

可选地可以在目标中测量

可以记录可选的目标参数（直径，偏转）

该系统可以在现有的制造过程中实施

高可用性

m-cat测量单元

磁参数

磁场配置：33个通道（X，Y，Z）+/- 1

检测和磁场强度

磁控管偏转的几何识别

可修剪磁控管的修整辅助功能

野外历程的图形表示

Matesy传感磁控管的几何形状（磁性功能部件的位置）：+/- .1 mm

目标的几何形状（直径，偏转）：+/- .1毫米

可以记录可选的目标参数（直径，偏转）

具有生命周期管理，视图和设置选项的软件

具有CSV格式的单个测量系列的HSE和导出功能

Matesy传感器